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Los metales de tungsteno tienen electricidad superior

Xian Kefeng pulvimetalurgia Co., Ltd | Updated: Aug 11, 2017



El material de tungsteno es el punto de fusión más alto de la naturaleza del metal (3410 ° c), al mismo tiempo con características de alta resistencia, alta dureza y baja resistividad. Materiales de tungsteno resistente a altas temperaturas, resistencia al impacto, resistencia al desgaste, estabilidad térmica, para asegurar que el dispositivo a alta temperatura estabilidad del trabajo, es el dispositivo MEMS procesamiento y fabricación de materiales estructurales buena elección, especialmente para alta temperatura y otros ambiente severo o extremo. Membranas de tungsteno Los materiales de tungsteno tradicionales usan métodos de deposición física o química para formar películas delgadas, pero el grosor de las películas delgadas generalmente no supera las 2 micras debido a la limitación del proceso y al estrés, lo que afecta el diseño y la fabricación del dispositivo. Si el material de tungsteno se utiliza como material estructural en lugar del material de silicio monocristalino tradicional para hacer interruptores MEMS, resonadores MEMS, sondas MEMS, electrodos micro-EDM y otros dispositivos, los metales de tungsteno estos dispositivos tendrán una mayor capacidad eléctrica, mecánica y alta características de resistencia a la temperatura debido a las características descritas anteriormente. El tungsteno es el material principal de las sondas de prueba microelectrónicas, y con la reducción del paso de los chips, las sondas de metales de tungsteno y las tarjetas de sonda también necesitan miniaturizarse con nuevos métodos de micromecanizado, en comparación con la microsonda de silicio de un solo cristal (tarjeta). material de tungsteno formado por micro-sonda (tarjeta) con alta dureza, baja tasa de desgaste, baja resistencia, alta confiabilidad. Debido a la alta densidad y dureza de los materiales de tungsteno, la velocidad de ataque del proceso de grabado iónico reactivo tradicional es muy baja, y la perforación transversal también es más grande, los metales de tungsteno no es posible lograr gran profundidad y alta relación de aspecto en relativamente poco tiempo, que no puede satisfacer la demanda de fabricación de los dispositivos MEMS. Por lo tanto, la aplicación de materiales de tungsteno es principalmente en la tecnología de circuito integrado, a través del método de deposición física o química para preparar una capa de espesor de menos de 2 micras de película, luego el proceso tradicional de grabado de iones reactivos se utiliza para fabricar una parte del dispositivo , como una rejilla metálica, una interconexión de metal, un diodo de metal, una combinación de gas gravado o gas utilizado en CF4, cf4 + 02, Cl2, cl2 + 02, SF6, sf6 + ​​02, NF3, ccl4 + 02, etc.

El método de grabado utilizado implica el grabado de plasma de panel plano (PE), el grabado de plasma reactivo (RIE), el grabado con plasma por resonancia de ciclotrón de electrones (ECR), etc., porque la densidad de plasma es relativamente baja (menos de IOICI-IO12CNT3), la energía es baja, la tasa de ataque producida generalmente es mucho menor a 1 micrón por minuto. Metales de tungsteno En la actualidad, no hay informes sobre el uso de materiales de tungsteno como la estructura principal de los dispositivos MEMS, mientras que el proceso de grabado de material de tungsteno de capa fina es generalmente bajo, la diferencia de anisotropía se está convirtiendo en el principal cuello de botella. Para el procesamiento de material de tungsteno metálico, no se informa que pueda lograrse el proceso de ataque químico con alta relación de proporción y aspecto.

El tungsteno es un metal refractario usado comúnmente, densidad 19.35, punto de fusión 3410 ° c, punto de ebullición 5660 ° c. El tungsteno tiene una gran dureza, alta densidad y buena resistencia a altas temperaturas. A temperatura ambiente, el tungsteno es estable en el aire y 400 ℃ comienzan a perder brillo, formando una película protectora de óxido de tungsteno azul-negro compacta. A 740 ℃, el trióxido de tungsteno se transformó del sistema cristalino de tres oblicuos a un sistema de cristal cuadrilateral, y la película protectora se destruyó. El tungsteno se oxida a dióxido de tungsteno en vapor de agua por encima de 600 ℃. El tungsteno no se erosiona fácilmente con ácido, álcali y agua regia a temperatura ambiente, los metales de tungsteno, pero se disuelve en ácidos mixtos de ácido nítrico concentrado y ácido fluorhídrico. El tungsteno puede erosionarse rápidamente al oxidar sales fundidas como el nitrato de sodio.

El contenido promedio de tungsteno en la corteza es 1.3x10-6, el contenido promedio de granito es 1.5x10-6. El tungsteno en el mundo natural es principalmente un catión de seis valencia, su radio iónico es pequeño, el precio de la electricidad es alto, con una fuerte capacidad de polarización, fácil de formar un anión complejo, metales de tungsteno así como tungsteno principalmente en forma de aniones complejos [wo4] 2 -, y $ literal, mn2 +, + y otros cationes para formar mineral de tungsteno negro o scheelita. Los minerales importantes del tungsteno son tungstato, y solo se encuentran 20 clases de minerales de tungsteno y tungsteno en la corteza, grupo de mineral de tungsteno negro: mineral de manganeso de tungsteno, mineral de hierro de tungsteno, mineral de tungsteno negro; Scheelite Group: scheelita (mineral de tungsteno de calcio), molibdeno scheelita, cobre scheelita; minerales chinos de tungsteno: hua de tungsteno, hua de tungsteno de agua, tungsteno ferroviario de alta velocidad Hua, tungsteno de itrio Hua, cu-W, mineral de tungsteno y aluminio; minerales de tungsteno raro: tungsteno galena, plomo de tungsteno oblicuo, molibdeno, tungsteno, zinc, tungsteno, bismuto, antimonio, tungsteno, titanio, mineral de itrio y torio (incluido el tungsteno), mineral de sulfuro de tungsteno. El único mineral de tungsteno negro (Fe, Mn) WO4 y scheelita tiene el valor económico de la minería.

Alambre de tungsteno, varillas, hojas, etc. utilizados para fabricar bombillas, componentes de tubos electrónicos de metales de tungsteno y electrodos de soldadura por arco.